潔凈室的術(shù)語說明詳細(xì)介紹

2015-02-04 16:21:59 admin

潔凈室的術(shù)語說明詳細(xì)介紹

術(shù)語

2.0.1 潔凈室（區(qū)） clean room(zone)
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)和溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子。
1 粒徑miacropartical size
由給定的粒子尺寸測定儀回應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。
2 超微粒子 ultrafine particle
當(dāng)量直徑<0.1μm的粒子。
3 宏粒子 micro particle
當(dāng)量直徑>0.5μm的粒子。
4 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
5 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.3 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣中某粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.4 占用狀態(tài) occupancy states
1 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力接通并運行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
2 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，按業(yè)主及供應(yīng)商商定的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員。
3 動態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。
2.0.5 氣流流型 air pattern
室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布。
2.0.6 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。
2.0.7 非單向流 non-unidirectional airflow
不符合單向流定義的氣流。
2.0.8 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.9 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8-1.5m（除工藝特殊要求外）的區(qū)域。
2.0.10 空氣吹淋室 airshower
      利用潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。
2.0.11 氣閘室 airlock
設(shè)置在潔凈室出入口，為阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.12 傳遞窗    passbox
      在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)窗扇的開啟應(yīng)進行聯(lián)鎖控制。
2.0.14 高效空氣過濾器 HEPA（high efficiency particulate air filter）
      在額定風(fēng)量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。
2.0.15 風(fēng)機過濾器機組（FFU） Fan Filter Unit
      由高效空氣過濾器（HEPA）或超高效空氣過濾器（ULPA）與風(fēng)機組合在一起，構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化裝置。
2.0.16 過濾器安裝后檢漏 installed filter leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等沒有缺陷和泄漏。
2.0.17 漏風(fēng)量 air system leakage ratio
      風(fēng)管系統(tǒng)中，在某一靜壓下通過風(fēng)管，附件及其接口，單位時間內(nèi)泄漏或滲入的空氣體積量。
2.0.18 漏光檢測 air leak cheek with lighting
采用強光源對風(fēng)管的咬口、接縫、法蘭及其連接處進行透光檢查，確定孔洞、縫隙等滲漏部位及數(shù)量的方法。
2.0.19 自凈時間 cleanliness recovery characteristic
      潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級的時間。
2.0.20 純水 purify water
雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量（常以電阻率表征）和非電解質(zhì)雜質(zhì)（如微粒、有機物、細(xì)菌和溶解氣體等）含量均要求很少的水。
2.0.21 常用氣體 Bulk gas
指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中廣泛使用的氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣等氣體。
2.0.22 特種氣體 special gas
指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。
2.0.23 化學(xué)品 chemical
      指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸、堿、有機溶劑、有機物質(zhì)和氧化物等。
2.0.24 配管 piping
潔凈廠房中，用以輸送、分配工藝用水、純水、各類氣體、化學(xué)品等的管路系統(tǒng)的管子、附件、管件、法蘭、螺栓連接件、墊片、閥門和其他組成件的組裝總成。
2.0.25 熱彎 hot bending
溫度高于金屬臨界點AC1時的彎管作業(yè)。